测角仪部分
2.1测角仪:θ/θ立式测角仪,样品水平放置
2.2 2转动范围:-110~168
2.3 测角仪半径:可连续改变
*2.4 可读最小步长:0.0001,角度重现性:0.0001
*2.5 最高定位速度:≥1200/min
2.6 采用智能虚拟测角仪全自动控制,硬件自动识别、自动纠错
Chi园:-11~98,马达驱动,最小步长0.001o
*5.2 Phi园:360度,马达驱动,最小步长0.001o
*5.3 X、Y、Z轴平移,马达驱动,最小步长0.001mm
*5.4 带阻光刀技术,可完成小样品的反射率XRR测量
*5.5 样品放置方式:真空吸附