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示例

单面光刻机

  • 型号规格：URE-2000/35
  • 仪器类别：工艺试验仪器
  • 仪器原值：33.50万元
  • 所属单位：渤海大学
  • 生产厂商：中国科学院光电技术研究所
  • 产地国别：中国
  • 启用日期：2012-09-25
  • 仪器所在地区：锦州市
  • 仪器安放地址：辽宁省锦州市松山新区科技路19号
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仪器详情 仪器定位
仪器服务信息
  • 联 系 人：朱炜锋
  • 联系电话：18015983373
  • 电子邮箱：zhuweifeng@bhu.edu.cn
收费标准

200元/样品

技术指标

1、曝光面积：4 英寸；2、曝光波长：365nm；3、分辨力：0.8μm；4、对准精度：±0. 8μm；5、照明不均匀性： 3%（±100mm 范围）。

主要功能

光刻

服务内容

光刻

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