300元/小时。
垂直测量量程 0.1nm至10mm，最大扫描速度 28.1m/秒垂直方向的分辨率0.1nm，RMS测量的重复性：0.01nm，样品反射率0.01%至100%。
具有测量二维和三维粗糙度的功能，也就是需要具有测量以下参 数的功能： 二维粗糙度参数：Ra, Rq, Rp, Rv, Rt, Rz, Rsk, Rku等参数。 三维粗糙度参数：h(x,y)，Sa, Sq, Sz, Ssk, Sku等参数。
实验研究试件的微纳米表面轮廓机粗糙度仪测量。
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