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单室高真空镀膜系统由真空镀膜仪和双工位手套箱组成，其中真空镀膜仪由真空室腔体，蒸发源系统，样品台系统，真空泵机组，膜厚检测系统，设备机架和电控系统组成，真空室可与手套箱对接，镶嵌于手套箱后部，采用一体化的设计方案。镀膜系统蒸发源由两套有机源和两套金属源组成，可实现有机无机材料共蒸。
该镀膜系统以蒸发源为主体，适用于实验室制备金属单质、氧化物、介电质等。
光伏电池功能层制备。
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