300元/小时。
测量范围:测量口径:200mm, 测量量程:2.5mm (粗糙度轮廓范围),30mm (轮廓范围) 测量分辨率:0.2nm/12.5mm 测量精度:面形误差:0.1um (80mm 口径半球范围) 半径精度:0.005% (80mm)。
对平面、曲面的轮廓形貌和表面粗糙度的测量。
科研实验样件形貌的测量。
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