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示例

反应离子刻蚀机

  • 型号规格：DISC-ICP-601
  • 仪器类别：工艺试验仪器
  • 仪器原值：43.14万元
  • 所属单位：渤海大学
  • 生产厂商：北京创世威纳科技有限公司
  • 产地国别：中国
  • 启用日期：2023-04-12
  • 仪器所在地区：锦州市
  • 仪器安放地址：辽宁省锦州市松山新区科技路19号
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仪器详情 仪器定位
仪器服务信息
  • 联 系 人：朱炜锋
  • 联系电话：18015983373
  • 电子邮箱：zhuweifeng@bhu.edu.cn
收费标准

200元/样品

技术指标

1.极限真空： 4.0×10-4Pa、2.刻蚀材料:Si、SiO2、Si3N4、Au、Al、GaN、GaAs等。

主要功能

用于MEMS浅槽刻蚀工艺。

服务内容

刻蚀工艺。

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服务咨询：024-24211361

主办单位:辽宁省科学技术厅 || 辽宁省重要技术创新与研发基地建设工程中心

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