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示例

纳米压印光刻机

  • 型号规格：URE-压印紫外光刻机
  • 仪器类别：工艺试验仪器
  • 仪器原值：55.22万元
  • 所属单位：渤海大学
  • 生产厂商：中国科学院光电技术研究所
  • 产地国别：中国
  • 启用日期：2023-04-12
  • 仪器所在地区：锦州市
  • 仪器安放地址：辽宁省锦州市松山新区科技路19号
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仪器详情 仪器定位
仪器服务信息
  • 联 系 人：朱炜锋
  • 联系电话：18015983373
  • 电子邮箱：zhuweifeng@bhu.edu.cn
收费标准

200元/样品

技术指标

1、曝光照度不均匀性：≤±6%、2、扫描范围:X:±40mm Y:±30mm、3、曝光灯功率：直流350W。

主要功能

主要用于中小规模集成电路、半导体元器件、声表面波器件的研制和生产。

服务内容

对晶片、陶瓷片、玻璃片（圆片或方片）的一次性曝光。

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服务咨询：024-24211361

主办单位:辽宁省科学技术厅 || 辽宁省重要技术创新与研发基地建设工程中心

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