1.真空度：分析室真空度优于5.0×10-8Pa。 真空泵：具有完全独立的真空抽气系统，由钛升华泵、磁悬涡轮分子泵、机械泵组成。 超高真空监测装置，可实现大气至10-8Pa范围的连续真空测量。 2.双聚焦的180°半球形分析器（采谱）。 球镜半球分析器（平行成像）。 半径不小于150 mm；能量扫描范围不低于0～5000eV。 通过能范围应不小于1～400eV,并可连续调节，调节步长不大于1eV。 XPS成像，可实现从小于6μm成像图的区域内获取能谱谱图。