"二次电子图像保证分辨率:3.0nm(30kV),8 nm(3kV),15nm(1kV)
背散射电子图像保证分辨率:4.0nm(30kV)放大倍数在x5~X300,000之间可连续变化,放大倍数预设功能,用户可以自己预设5个放大倍数。
提供二次电子探测器和高灵敏度半导体探测器,可获得形貌像、成分像、立体像加速电压:0.5kV-30kV
束流:1pA~1uA
图象平移:-50μm~+50μm(高倍观察时,通过控制电子束的移动选择观察位置,指标越大越好),并可在不移动样品台的条件下即可实现
样品台:Large-sized eucentric goniometer大尺寸、超级对中样品台(可装直径150mm样品)
X:80mm Y:40mm T:-10 to +90degree
R:360degree
Z:WD5mm to48mm
灯丝采用 Factory precentered type(灯丝更换无需调整)预对中型灯丝
自动功能包括自动枪对中、自动聚焦、自动消象散、自动衬度或亮度、像散记忆功能
提供自动变焦聚光镜,在束流改变时保持图像的在焦状态
物镜光栏:三级,根据不同的需求进行大中小的转